Micro(systeem)technologie

Micro(systeem)technologie is de technologie die zich richt op producten en processen op submillimeter, micrometerschaal. Formeel valt microelektronica onder deze definitie, maar gezien de enorme omvang en vroege ontwikkeling van dat domein, wordt de term micro(systeem)technologie doorgaans vooral gebruikt voor producten en processen die te maken hebben met andere bewegingen op microschaal dan elektronische.
Het gaat dan met name om elektromechanische beweging, MEMS, vloeistofstromen, lab-on-a-chip en microfluidica, licht, light-on-a-chip, fotonica en levende organismen, biochips.

Nanotechnologie

Nanotechnologie is de technologie waarbinnen wordt gewerkt met deeltjes in de grootte-orde van nanometers (een miljardste meter). Dit is een schaal van grootte net boven die van atomen (0,060 nm tot 0,275 nm) en eenvoudige moleculen. Een criterium is dat een structuur in op zijn minst één dimensie minder dan 100 nanometer groot is.
Nanotechnologie onderscheidt zich van nanoscience in die zin dat de nanotechnologie gericht is op het werken met kleine deeltjes en dat nanoscience zich laat omschrijven als alle wetenschap die zich bezighoudt met onderzoek op nanoschaal.