Berichten

Met drie sprekers uit verschillende achtergrond heeft MinacNed op 20 april een breed beeld gegeven van toepassing van Thin Film/MEMS technologie. Dit event is vrij toegankelijk voor leden van MinacNed en het doel is om kennis uit te wisselen tussen experts en geïnteresseerden op een specifiek thema.

Thin Film/MEMS toepassingen

Vanuit Philips heeft Rob van Schaijk een inkijk gegeven in nieuwe technologie toepassingen, waaronder een blik op de toekomst van ultrasound imaging. Richard Norte, assistent professor bij TU Delft heeft in zijn presentatie laten zien hoe thin film mirrors toegepast worden en welke raakvlakken er zijn met andere nano toepassingsgebieden. Aaike van Vugt, CEO van VSParticle liet zien dat zijn bedrijf zich focust op de eindeloze toepassingen van nanoparticles en de samenwerking die zij aangaan met strategische partners. Moderator Frank van de Scheur heeft de sessie geleid waarin  de sprekers uitgedaagd werden in discussie en door vragen van de deelnemers.

MinacNed heeft hier een breed onderwerp gepakt waar in de drie presentaties een geheel eigen invalshoek is gekozen, wat voor de deelnemers een korte indruk gaf van toepassing van Thin Film/MEMS. Voor wie de sessie heeft moeten missen is het mogelijk om deze nog terug te kijken. Stuur hiervoor een mail naar Aurélie Veltema via a.veltema@minacned.nl.

Lees meer over het event en de abstracts van de sprekers.

Deel uw idee voor een thema

Voor de maanden mei en juni staan er events op de planning die binnenkort aangekondigd zullen worden. Heeft u zelf een idee voor een event of leeft er bij u een vraag die u met experts zou willen oppakken, stuur dan ook een bericht naar MinacNed. De MinacNed member events zijn voor en door leden en wij denken graag met u mee over sprekers en invulling van het event.

In een door NWO gesteunde publiek-private samenwerking werkten meetapparatuurspecialisten Bronkhorst en Krohne samen met de technische universiteiten van Delft en Twente om debietmeters naar de volgende generatie te brengen. Hun doel: nieuwe en innovatieve meters ontwikkelen die realtime inzicht en analyse van stromende media kunnen bieden, allemaal zonder de stroom te hoeven onderbreken.

Auteur: Collin Arocho, Bits & Chips
Foto: An ultrasonic flow meter installed on a customer setup. Credit: Bronkhorst

In all high tech industrie wordt gewerkt aan manieren om gegevens te verzamelen en analyses te gebruiken om het meeste uit hun producten te halen. Volgens de experts van Bronkhorst High-Tech en Krohne Altometer beweegt de markt voor stroommetingen onvermijdelijk in dezelfde richting. “We willen meer kunnen meten dan alleen de mediumstroom door een buis. We willen het debiet en andere parameters zoals dichtheid, viscositeit en andere betekenisvolle grootheden meten ”, legt Joost Lötters, wetenschappelijk medewerker bij Bronkhorst, uit.

In de industrie heeft Lötters zich meer dan twintig jaar gericht op het ontwikkelen van massastroommeters die worden gebruikt voor het meten en regelen van de stroom van vloeistof en gas voor een verscheidenheid aan toepassingen in laboratoria, machines, industriële en gevaarlijke gebieden. Naast deze “dagbaan” bij Bronkhorst is hij parttime hoogleraar microfluïdische handlingsystemen aan de technische universiteiten (TU’s) in zowel Delft als Twente. Dit betekent dat hij als het gaat om kennis van de markt voor meetapparatuur, de eisen van de klant goed begrijpt, evenals de technologische innovaties die nodig zijn in het domein.

In 2014 kreeg Lötters lucht van het stimuleringsprogramma voor partnerschapsonderzoek via de Nederlandse Onderzoeksraad (NWO), waarbij de raad fondsen, van 3-10 miljoen euro, zou matchen om publiek-private samenwerkingsprojecten te ondersteunen. Met voorkennis van de onderzoeksmogelijkheden bij de TU’s, nam hij contact op met zijn collega’s bij Krohne om het ontwikkelingsproces van de volgende generatie flowmeters te begeleiden in een programma genaamd ‘Flow +’ – gericht op het verzamelen en benutten van waardevolle gegevens om klanten meer te geven inzicht en kosten verlagen.

Onderzoekers werden uitgenodigd om voorstellen in te dienen over hoe hun idee in het programma zou passen. “We hebben de voorstellen bekeken door de lens van de technologiegereedheidsniveaus van NASA”, zegt André Boer, de algemeen directeur van Krohne. “Universiteiten werken doorgaans tot niveau 3 of 4, de fase van een proof-of-concept of functioneel model. Voor Flow + wilden we iets geavanceerder: we wilden naar TRL 6, een volledig functioneel en verplaatsbaar model, met de ambitie om het helemaal naar niveau 9 te brengen – missiesucces. We wilden onze expertise gebruiken om de onderzoekers te helpen de kloof te overbruggen en om uit de eerste hand ervaring op te doen uit de industrie, maar ook om onze producten op de markt te krijgen. ”

Ultrasonic

De medewerkers ontvingen in totaal 18 inzendingen van projectontwerpen. Vier voorstellen haalden de laatste ronde. Nu, een paar jaar later, zijn twee van de projecten al gerijpt tot TRL 5. De eerste is een ultrasone flowmeter, afkomstig van de TU Delft. Door dit kleine apparaat aan een buis te klemmen, gebruikt het systeem geluidsgolven om de stroom binnenin te penetreren en te meten, waarbij waardevolle informatie wordt verzameld, zoals de buisdiameter, wanddikte en snelheid van de vloeistof.

“Hiervoor is een zeer intelligent systeem vereist dat zichzelf automatisch kan kalibreren in elke omgeving”, zegt Jankees Hogendoorn, algemeen directeur van Krohne’s New Technologies Group. “In deze opstelling gebruikt het systeem een ​​gefaseerde reeks transducers – een groep sensoren – om de akoestische straal naar specifieke punten en specifieke vlakken te sturen om informatie te verzamelen over een volledige doorsnede van de buis. Hierdoor kunnen we waardevolle gegevens verzamelen en de stroomsnelheid van punt naar punt bepalen zonder dat we in de leiding hoeven te snijden. ” Dit betekent dat eindgebruikers niet alleen nauwkeurigere analytische gegevens ontvangen dan ooit tevoren, maar ook de gezondheid en stabiliteit van pijpleidingen kunnen bewaken terwijl ze een snellere installatie realiseren met minimaal risico op lekken en een verlaging van de totale kosten.

“Ik werk al 35 jaar bij Krohne en we zijn al heel vroeg begonnen met het ontwikkelen van ultrasone flowmeters, omdat dit een van onze grootste wensen was”, zegt algemeen directeur Boer. “Hoewel de ideeën er waren, als het erom ging zo’n tool te produceren – vergeet het maar. De technologie die door de TU Delft wordt ontwikkeld, bestond twintig of dertig jaar geleden nog niet. Mede daarom is deze samenwerking met de TU’s in onze ogen zo’n succes. Via dit programma hebben we gebruik kunnen maken van de laatste ontwikkelingen en hebben we next-gen technologie kunnen realiseren.”

Flow+ PhD student werkt aan de micro Coriolis flow sensor in het lab van de UT. Credit: Flow+

Coriolis

Het tweede van de meest geavanceerde projecten is de thermische geluidsbeperkte Coriolis-stroommeter, een samenwerking tussen de TU’s van Delft en Twente. Een stromingssensor van het Coriolis-type bestaat uit een trillende buis waardoor een vloeistof stroomt. De bewegende massa van de vloeistof resulteert in Coriolis-krachten die inwerken op de trillende buis die kunnen worden gedetecteerd en gebruikt om te bepalen hoeveel stof er per seconde passeert. Bij het meten van gassen kan het echter een beetje lastig zijn vanwege hun lage dichtheid – wat betekent dat er veel druk nodig is om de gasstroom door de buis te duwen.

“Door een inline-oplossing te creëren, kunnen we alle relevante gegevens verzamelen en ervoor zorgen dat de high-throughput-processen in realtime kunnen worden gecontroleerd en aangepast, waardoor de downtime van het systeem wordt beperkt”, legt Lötters uit. “Bij Bronkhorst zijn we gespecialiseerd in het toepassen van het Coriolis-principe voor ultralow liquid flow rates en willen we dit principe voor het meten van gasstromen verbeteren. Maar om dat te doen, moeten we de signaal-ruisverhouding van het apparaat drastisch verbeteren, aangezien de massastromen voor gassen veel lager zijn dan die voor vloeistoffen vanwege hun lagere dichtheden. ”

Om een ​​oplossing te vinden, heeft Twente de rol op zich genomen om de gevoeligheid van de sensoren te verbeteren om lagere stromen te meten. Ondertussen heeft Delft de elektronica die wordt gebruikt om het geluidsniveau te verlagen, verbeterd. Na een paar iteraties van in-house ontwikkeling, is dit team dicht bij het realiseren van een aangepaste ASIC-chip die zal worden geïntegreerd met de verbeterde sensor uit Twente op weg naar een marktwaardig product.

Printplaat met de micro Coriolis flow sensor chip in het midden gemonteerd. Credit: Flow +

Plus

“Het bewijs van de pudding zit in het eten, dus we moeten nog zien hoe het allemaal integreert, maar ik zou deze samenwerking een succes willen noemen”, zegt Lötters. “Er zijn nog steeds enkele vragen die we aanpakken terwijl we door de technologische paraatheidsniveaus gaan. Maar onze visie om ‘flow plus iets anders’ te meten wordt gerealiseerd. Nu meten we de stroom. Vervolgens meten we het debiet plus hoeveelheden zoals dichtheid, viscositeit en warmtecapaciteit. Ten slotte gaan we naar herkenning van gassen, vloeistoffen en bepaling van de samenstelling van gas- en vloeistofmengsels, bijvoorbeeld door een machine-learning component toe te voegen. Het is een stapsgewijs proces, maar dat is de richting die we gaan. ”

In termen van toekomstige toepassing van de Flow + -oplossingen zijn de marktmogelijkheden behoorlijk divers. “Toepassingen van deze systemen variëren van medische oplossingen zoals het meten van de samenstelling van medicijnmengsels van multi-infusie-opstellingen in ziekenhuizen en voedingstoevoer en afvalafvoer in organ-on-a-chip-systemen tot het meten van de energie-inhoud in mengsels van brandstofgassen of onderzoek naar katalysatoren en recepten voor het effectief winnen van olie uit bronnen in de olie- en gasindustrie en vele andere ”, illustreert Lötters. “Al deze industrieën zijn afhankelijk van het monitoren en meten van zowel de stroom in een pijpleiding als de inhoud van de stromende media.”

Flow+

Voor het Flow + project werkten meetapparatuurspecialisten Bronkhorst High-Tech en Krohne Altometer samen met de TU Delft en de Universiteit Twente om de volgende generatie flowmeters te ontwikkelen met verbeterde mogelijkheden voor gegevensverzameling en verhoogde gevoeligheid. Het project wordt mede gefinancierd door Holland High Tech, Topsector HTSM en de Nederlandse Onderzoeksraad (NWO) met een publiekprivate samenwerkingssubsidie ​​voor onderzoek en innovatie.

Artikel via Holland High Tech news

Evenementen

De studievereniging Hooke voor Nanobiologie organiseert een symposium op 12 oktober 2021!

Hooke is de studievereniging voor de studie Nanobiologie aan de TU Delft en het Erasmus Medisch Centrum. Wij zijn een jonge en opkomende studie die zich focust op het veld waar biologie, natuurkunde en wiskunde samen komen. Hier streven wij om de mysteries van het leven op de kleinste schaal te ontdekken en te ontrafelen. Studenten hebben onder andere affiniteit met celbiologie, data analyse, programmeren, microscopie en nanotechnologie.

Zie fact sheet voor achtergrond van het symposium (pdf).

Sprekers

De symposium commissie van Hooke organiseert elk anderhalf jaar een symposium, de eerstvolgende editie zal plaatsvinden op 12 oktober 2021 en zal vooralsnog op locatie plaatsvinden. Deze keer zal het symposium 3 sprekers uit het vakgebied hebben:

– Jan van Hest is een van de 2020 spinozapremie winnaars, hij is een van de vooroplopers op het gebied van kunstmatige organellen en cellen. In zijn onderzoek ontwerpt en creëert hij nieuwe materialen en katalytische processen die kunstmatig gemaakte moleculen kan combineren met biologische componenten. Dit kan interessante biomedische toepassingen hebben zoals bijvoorbeeld het transport van medicijnen. Lees meer.

– Tom Shimizu is een groep leider van de onderzoeksgroep systeem biologie aan het instituut AMOLF. Hij doet onderzoek naar de processen en de moleculaire interactie van systemen die plaatsvinden als levende organismen reageren en interactie hebben met hun omgeving. Met als breed onderzoeksdoel om uit te vinden of natuurlijk geëvolueerde systemen op dezelfde manier begrepen kunnen worden als ingenieurs machines begrijpen. Lees meer.

– Rene Medema is de directeur wetenschapsbeleid bij het NKI en groepsleider van de onderzoeksgroep celdeling en kanker. Deze onderzoeksgroep doet onderzoek naar hoe cellen reageren op DNA schade en of/hoe dit ingezet kan worden bij de bestrijding van kanker. Lees meer.

Het symposium zelf zal elke spreker aan bod laten komen om wat over hun recente onderzoek te vertellen. Het thema van het symposium staat nog niet vast, maar het symposium zal zich globaal richten op de invloed van onderzoek, en het vakgebied nanobiologie in de huidige maatschappij.

De doelgroep van het symposium is studenten van de studie Nanobiologie maar ook van andere studies aan de faculteit Technische Natuurwetenschappen. Het symposium wordt normaal goed bezocht, met omstreeks 200 bezoekers. Hiertussen begeven zich ook veel PhD- en masterstudenten, evenals leden van het departement Bionanoscience binnen de TU Delft. Het symposium biedt een ideale gelegenheid voor bedrijven om in contact te komen met studenten en bijna afgestudeerden. Hier tegenover staat een financiële bijdrage die gebruikt zal worden voor de organisatie van het symposium. Organisaties hebben verschillende opties om met studenten in contact te komen. Bij eerdere edities maakten bedrijven van de mogelijkheid gebruik om hun bedrijf op een laagdrempelige manier te promoten of eventuele vacatures of stageplaatsen direct aan de man te brengen.

Contact

Ziet u dit als ook een goede kans voor u bedrijf? Dan kunt u ons benaderen voor een eventuele (online) afspraak om de mogelijkheden tot een samenwerking verder te bespreken. Wij zijn bereikbaar op symposium-hooke@tudelft.nl.

The MinacNed team invites you to MinacNed member event on April 20,  where we will discuss: Thin film/ MEMS technology. MinacNed has invited 2 excellent speakers who will present their work, followed by a Q&A discussion.

Thin film/ MEMS

Online MinacNed member event
April 20, 2021
15:00-16:30 hrs
Registration free for MinacNed members

Speakers

Rob van Schaijk, principal architecht Thin film/MEMS at Philips

Rob van Schaijk joined Philips Innovation Services in 2017, in the MEMS & Micro Devices department as principal architect. His main responsibility is MEMS process development in the Philips MEMS foundry with a focus on CMUT technology. With 20 years of experience in semiconductors, MEMS and IC technology in different positions, from senior scientist to R&D manager. Before joining Philips Innovation Services, he has been with Philips Research, Philips Semiconductors, NXP semiconductors and Imec on topics in the area of silicon processing, energy harvesting and sensors for use in wireless sensor nodes. He obtained a master degree in applied physics from the technical university of Eindhoven in 1995 and a PhD from the University of Amsterdam in 1999 in semiconductor physics.

Abstract

c-MUT and p-MUT: new technology platform for medical ultrasound
Capacitive or piezoelectric micro-machined ultrasonic transducers (MUT) enable smaller form factors, larger arrays, larger bandwidths, and integration with driver circuitry for new medical ultrasound applications. The current technology based on piezo-electric crystals will be more and more unable to meet these requirements.  The new MUT technology is well suited and optimized for medical applications, ranging from general probes to integration in catheters. For general probes, it leverages main MUT advantages of high-volume manufacturing, low cost and high performance leading towards ubiquitous ultrasound. For the catheter-based devices, MUT technology also adds high levels of integration and miniaturization. In this presentation, an overview of CMUT and PMUT devices and market perspectives will be given. In addition, the state of the art and new developments of CMUT and PMUT technology and its use in several medical applications will be shown.

 

Richard Norte, Assistant Professor at Delft University of Technology & Co-Founder at Nenso Solutions

Richard NorteOur research focuses on creating new microchip technologies and designer meta-materials which can manipulate light & sound at the nanoscale. This allows us to create circuits which route photons & phonons in the same way conventional circuitry routes electrons. By sending laser light into nano-photonic circuits, we can interact with micro-sized mechanical oscillators, allowing us to measure vibrations on the femto-meter scale (10-15 m) – a size normally reserved to describe the radius of protons. We are expanding these unique capabilities to create quantum-limited sensors which can detect accelerations, temperatures, and forces on integrated microchips and can be readily translated into emerging nanotechnology industries. These light-based sensors are now laying the groundwork towards new types of microphones, accelerometers, and inertial navigation systems which can out-perform many conventional MEMS platforms in terms of sensitivity, energy consumption, and immunity to environmental noise and jamming. The aim is to create nano-mechanical sensors so sensitive and easy-to-use that we can study fundamental physics in new ways and push forward commercial applications.

Richard Norte holds a bachelors degree in Physics and Mathematics from Stanford University and a Ph.D. in Physics from California Institute of Technology. His work has been featured in Nature, Nature Photonics, Science, Physical Review Letters and on the cover of Optica and Scientific American. He is co-founder of consulting company, Nenso Solutions, which helps enable nanotechnology for next-generation industries. Our team is part of the DMN research group in the Precision and Microsystems Engineering (PME) department.

Aaike van Vugt, CEO VSParticle

Aaike van VugtAaike has an MSc in Chemical Engineering from TU Delft. “There is plenty of room at the bottom.” – a 1959 quote by famous physicist Richard Feynman in a talk titled ‘A staggeringly small world’ are the words that inspired our CEO, Aaike in his career pursuit. After graduation he went on to become a Co-Founder of VSPARTICLE. As CEO, he spends his time on both the R&D and the commercial sides of the business. He is passionate about nanotech’s potential to improve life on Earth and this passion it what fuels the leadership of VSPARTICLE. VSPARTICLE has unleashed the full power of nanotechnology and quantum properties by making the production of nanoparticles as easy as pushing a button. The future will build from the bottom up and there is a whole world of possibilities down there. We provide you with the right tools to explore new materials properties and accelerate your research. Simplicity is our super power, innovation can be yours.

Aaike will show the latest developments regarding the VSP-P1 nanoparticle printer. With this new tool it is possible to locally print new nanoparticle based materials onto MEMS devices. At the moment VSPARTICLE is collaborating with industry to develop next generation metal oxide gas sensors. Looking at the current development it is expected that the Nano Aerosol Process will become a standard SEMICON tool in 2-3 years.

Moderator

Frank van de Scheur, Head of MEMS & Micro Devices at Philips & Chair of MinacNed board

Program

The MinacNed member events are online via Zoom. You will receive a link after you complete the registration.

15:00 Opening MinacNed Thin Film/MEMS
15:05 Rob van Schaijk, Philips
15:30 Richard Norte, TU Delft
15:55 Aaike van Vugt, VSParticle
16:20 Room for discussion
16:30 Closing

Registration

Registration is free for all team members in MinacNed organisations.